近日，第34届中国国际测量控制与仪器仪表展览会在合肥落幕。展会汇聚来自10余个国家和地区的500余家知名企业，展品覆盖自动化控制系统、高精度传感器、过程分析仪器、计量测试设备、AI精密测量装备、双碳环保解决方案等品类。面向半导体封装、高速光通信耦合台的纳米级位移测量部件成为现场关注焦点。

据介绍，位移传感器常被称作运动控制系统的“眼睛”。五轴机床刀尖定位、800G光模块透镜纳米对位、半导体芯片贴片纠偏，都依赖高精度位移测量部件。长期以来，行业主流方案围绕莫尔条纹光栅技术展开，产业界持续探索精度更高、环境适应性更强的下一代测量方案。

依托清华大学天津高端装备研究院智能位移传感器系统研究中心研发积累，宁波立林智感（品牌“立林微intesor”）选择从底层原理换道创新。2018年，由MIT博士、国家“千人计划”专家林立教授领衔的团队完成实验室原理突破，采用激光光栅反射干涉测量技术，将光栅尺栅距压缩至0.3—2.5微米，搭配9点矩阵读取与冗余算法，提升产品在粉尘、振动等复杂工况下的稳定性。

“参数表上的指标，最终要接受连续量产产线的检验。”立林智感CEO宋建峰介绍，立林智感真正实现把“激光+细栅距反射干涉+9点矩阵+全栈自研”做成可量产工业品。目前公司实现量产直线光栅尺分辨率达1纳米，重复定位精度±20纳米；角编码器系统精度±2角秒，正在向更高性能持续攀升。

立林微intesor

国内多家耦合设备头部厂商已对立林智感产品开展产线验证与小批量导入，覆盖800G/1.6T光模块高速耦合平台、高精度贴片、固晶等关键环节。在回转转台与多轴一体机应用场景中，其直线光栅尺与角度编码器正与多家设备厂商并行测试。同时，在半导体封装、精密激光加工、科研仪器等赛道，产品已与多家一线企业完成从样机验证到小批量的闭环，部分产线实现批量出货。

当前，高端仪器仪表行业竞争，逐步从指标比拼转向真实工业场景下的长期可靠性比拼。以反射干涉技术为代表的新一代位移测量方案，在光通信、半导体封装领域持续落地应用，为高端装备产业升级提供测量技术支撑。（推广）